臭氧濃度檢測的方法大致可分為化學分析法和儀器法兩大類。

最常用的化學分析方法有碘化鉀法、硼酸碘化鉀吸光光度法和靛藍二磺酸鈉分光光度法。前兩種方法對臭氧的特異性或穩定性較差，在現場使用中受到一定的限制，而靛藍二磺酸鈉分光光度法靈敏度高，抗臭氧能力強。可用于O3的定量測定，因此在1996年頒布的空氣質量標準GB3095-1996中，采用該方法代替原標準中的硼酸碘化法作為O3化學檢測的標準。

臭氧檢測儀器方法的優點是靈敏度高，重復性好，對操作人員的要求不高，是一種較好的方法，但是因為此類儀器原來一般價格昂貴，不易普及使用。經過多年的努力，在提高質量的過程中，通過大規模采購不斷降低臭氧檢測儀的價格。越來越多的客戶使用臭氧檢測儀器。現在它終于被大規模使用了。

檢測臭氧濃度的原理是采用化學發光法、紫外吸收法和電化學法。由于化學發光法需要配備乙烯氣瓶，而乙烯為可燃物質，危險且不便，因此近年來普遍采用紫外吸收法和電化學法。

紫外吸收法的原理是基于O3對波長為254nm的紫外光的吸收，根據比爾一朗的定律可以計算出O3的濃度。該方法結構簡單、靈敏度高、響應速度快。在0-10000ppm濃度范圍內具有良好的線性度，零漂和跨度漂移很小。

電化學法是待測臭氧氣體通過擴散方式與儀器接觸。并做出反應。輸出穩定的電信號。氣體濃度值可在顯示器上穩定顯示數據。